在老化的同時(shí)進(jìn)行功能測試(中)
老化工藝必須要確保工廠的產(chǎn)品滿足用戶對可靠性的要求,除此之外,它還必須能提供工程數(shù)據(jù)以便用來改進(jìn)器件的性能。
一般來講,老化工藝通過工作環(huán)境和電氣性能兩方面對半導(dǎo)體器件進(jìn)行苛刻的試驗(yàn)使故障盡早出現(xiàn),典型的半導(dǎo)體壽命曲線如圖1。
由圖可見,主要故障都出現(xiàn)在器件壽命周期開始和最后的十分之一階段。老化就是加快器件在其壽命前10%部分的運(yùn)行過程,迫使早期故障在更短的時(shí)間內(nèi)出現(xiàn),通常是幾小時(shí)而不用幾月或幾年。
不是所有的半導(dǎo)體生產(chǎn)廠商對所有器件都需要進(jìn)行老化。普通器件制造由于對生產(chǎn)工藝比較了解,因此可以預(yù)先掌握經(jīng)過統(tǒng)計(jì)得出的失效預(yù)計(jì)值。如果實(shí)際故障率高于預(yù)期值,就需要再作老化,提高實(shí)際可靠性以滿足用戶的要求。
本文介紹的老化方法與10年前幾乎一樣,不同之處僅僅在于如何更好地利用老化時(shí)間。提高溫度、增加動態(tài)信號輸入以及把工作電壓提高到正常值以上等等,這些都是加快故障出現(xiàn)的通常做法;但如果在老化過程中進(jìn)行測試,則老化成本可以分?jǐn)傄徊糠值焦δ軠y試上,而且通過對故障點(diǎn)的監(jiān)測還能收集到一些有用信息,從總體上節(jié)省生產(chǎn)成本,另外,這些信息經(jīng)統(tǒng)計(jì)后還可證明找出某個器件所有早期故障所需的時(shí)間是否合適。